[問題] PMMA RIE參數

看板NEMS作者foolphen (楓兒)時間11年前 (2012/08/26 10:36)推噓0(0推 0噓 0→)

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各位好目前使用奈米壓印再壓印光阻TU2-120下有先鋪一層PMMA 要當之後鍍金屬的mask 現在遇到的問題是因為PMMA和TU2-120都是可以用O2蝕刻所以PMMA RIE後的pattern都不清楚我想請教各位先進有沒有蝕刻PMMA更好的參數?(流量.帕數.瓦數...) 謝謝!!! ※ 編輯: foolphen 來自: 140.112.231.181 (08/26 10:37)