[問題] 光阻側壁改善

看板NEMS作者 (憨廷)時間11年前 (2012/08/16 10:01), 編輯推噓1(1推 0噓 0→)
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本身使用az4620和jsr126n這兩支光阻製作圖形，但側壁的粗糙度過高， 不知如何改善問題，謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.120.105.45
推
08/16 12:39, , 1F
是怎樣的粗糙度過高？ 顆粒、凹凸不平、沒有90度？
08/16 12:39, 1F
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