[問題] PMMA溶液配方
要配置PMMA溶液 spin coating後的厚度大概100nm
請問該選擇分子量120K或是996K的?
另外想請問調配的參數 和 spin coanting轉速 和 Baking的溫度
這些要去哪裡查?
查了好久的查不到詳細的資料
希望有在做這個領域的朋友可以幫幫忙>"<
謝謝!!
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◆ From: 140.112.231.181
推
07/06 04:13, , 1F
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