[問題] 壓印圖案複製不完全
想請問版上的各位
此實驗室利用反向壓印,在PDMS上塗佈光阻後,藉由壓印機壓印PDMS,
但我的圖案沒有辦法全部轉印上去。
如果壓在4吋的藍寶石基板上,脫模後外圍的圖案都能完全轉印,
但只有中間的圖案無法轉印。
接著我有試過用熱壓的方式,脫模後卻變成中間有一條一條的痕跡,
而外圍的圖案一樣能轉印過去。而PDMS中間卻沒有殘留光阻。
我用OM去觀察一條一條是甚麼,觀察出來感覺我的線寬只是比較小,
卻想不出比較具體的原因。
因此在這想問問大家有沒有甚麼想法?或覺得問題出在哪裏?
這問題困擾了很久,謝謝。
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推
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