[問題] lift-off 鍍金去除的問題

看板NEMS作者 (116菸酒生)時間12年前 (2012/04/29 14:07), 編輯推噓7(7推 0噓 5→)
留言12則, 8人參與, 最新討論串1/1
小弟我實驗室 原本是用JSR做電極圖案(電極寬200um最小的地方100um) 但因為一些事現在跟換成AZ1518做電極圖案 別人給小弟的參數如下 STEP1 500 rom 5S STEP2 1500 rpm 20S 軟烤 100度 3min 曝光 20s (OAI-500) 顯影4分鐘 鍍金(約50nm) 泡丙酮 做出來結果長這樣 http://www.wretch.cc/album/album.php?id=ghjkacda&book=12 電極旁邊的金無法正常脫落 搖晃或者用震盪器搖 結果都是圖型全毀 有沒有哪位 知道這種情形剛整麼處理的 在想說要不要把光阻厚度加高不知道有沒有用 -- 作者 NavierStokes (那維亞) 看板 graduate
推
11/02 20:36,
看到這ID不得不推了!!!
11/02 20:36
推
11/02 22:05,
看到ID差點腿軟
11/02 22:05
推
11/02 22:36,
ID 怎麼了 不懂?
11/02 22:36
推
11/02 22:47,
拿這ID google就知道了XDDD
11/02 22:47
推
11/03 01:34,
我估狗了然後我趕快關掉網頁....= =
11/03 01:34
-- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.120.24.59
→
04/29 14:24, , 1F
AZ5214E 用一次就愛上它!
04/29 14:24, 1F
推
04/29 21:02, , 2F
玻璃基板？
04/29 21:02, 2F
推
04/29 22:25, , 3F
有沒有先鍍Cr or Ti?
04/29 22:25, 3F
推
04/29 23:43, , 4F
我顯影完會硬烤
04/29 23:43, 4F
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04/30 08:57, , 5F
嗯玻璃基板
04/30 08:57, 5F
推
04/30 10:35, , 6F
疊兩層.第一層先全部個幾分鐘看看吧XD
04/30 10:35, 6F
推
04/30 23:56, , 7F
上面有人問了，你有沒有先鍍Cr或Ti，幫助Au附在玻璃上
04/30 23:56, 7F
推
05/01 00:01, , 8F
借標題問一下 Au如果要鍍在Si wafer上
05/01 00:01, 8F
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05/01 00:02, , 9F
Ti或Cr哪個比較好?
05/01 00:02, 9F
推
05/01 02:14, , 10F
看照片很像是金屬在oxide上面adhesion的問題
05/01 02:14, 10F
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05/01 02:15, , 11F
to 樓樓上~如果是要增加adhesion兩種都不錯
05/01 02:15, 11F
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05/07 11:11, , 12F
結果最近用4620成功了~老師說1518先丟旁邊了
05/07 11:11, 12F
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