[問題] PDMS次微米模具製作
大家好 現在有一些問題想請教版上各位
目前在作次微米的PDMS模具有些製作上的問題
矽模具為線寬700nm 間距500nm 的三角排列 洞狀結構 大小為兩吋在大一點
製作方法如下:
PDMS有上下兩層 硬性的PDMS為X-32-3094-2及軟性的SYLGARD 184
製作方式是用硬性的PDMS+凝固劑+矽油=10:1:1 均勻攪拌後倒在SI模具上
接著抽真空把氣泡抽出後 破真空在靜置一小時 烤硬的時間為一小時 70度
烤完冷卻後再接著到軟性的PDMS+凝固劑=10:1 均勻攪拌後倒在硬性模具上
由於硬的PDMS比較貴 叫貨等待的時間也比較久 所以才把PDMS作DOUBLE LAYER
烤的時間也是一小時 70度 冷卻後再自行脫模
可是翻模出來結構的完整性不是很好
不知版上各位是否覺得某個步驟需要改正或著是有更好的方式可以提供
謝謝!!! ^^
再問一個問題 矽油主要的功用是甚麼
因為在作微米結構的PDMS根本不需要用到矽油
一到次微米感覺非用矽油不可 可以麻煩大家解答嗎???
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