[問題] HF的問題???

看板NEMS作者 (康康)時間12年前 (2012/02/09 20:26), 編輯推噓4(4推 0噓 5→)
留言9則, 5人參與, 最新討論串1/1
請問板上的大大 有什麼金屬是不被HF所吃的嘛??? 謝謝大家!!! -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.135.97.167
推
02/09 21:41, , 1F
Cu,Au,Ni這三種我都試過不會被吃
02/09 21:41, 1F
→
02/10 11:11, , 2F
謝謝喔 那PDMS脫模後會殘留在SI上 有甚麼可以吃掉PDMS的
02/10 11:11, 2F
→
02/10 11:13, , 3F
溶液嗎???
02/10 11:13, 3F
推
02/10 15:08, , 4F
吃PDMS好像喬越有種藥劑可以 不然就是用RIE打
02/10 15:08, 4F
推
02/11 03:33, , 5F
有看過paper是用NMP:TBAF=3:1來做濕蝕刻，詳見"Patterning
02/11 03:33, 5F
→
02/11 03:36, , 6F
PDMS using a combination of wet and dry etching"這篇
02/11 03:36, 6F
推
02/12 18:09, , 7F
記得丙酮會稍微腐蝕PDMS
02/12 18:09, 7F
→
02/13 14:05, , 8F
謝謝大家 我會去試試看!!!
02/13 14:05, 8F
→
02/13 14:07, , 9F
那有甚麼方法可以移除SIO2而不傷害鎳金屬???
02/13 14:07, 9F
‣ 更多 bank00177 的文章
文章代碼(AID): #1FCxjPJ4 (NEMS)