[問題] 深蝕刻矽的公司

看板NEMS作者zxcvoice (cc)時間12年前 (2012/01/05 21:21)推噓2(2推 0噓 0→)

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請問有人知道可以用ICP做深蝕刻wafer的公司嗎大概是直徑 30~100um 不等的圓形pattern 然後用ICP (bosch process) 下去蝕刻100um~300um 不等 wafer 整類為 4吋如果可以進破片(貼在載片上)更好 ps 除了 NDL以外的公司感謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.113.217.74

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Ice98

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s75287

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