[問題] 有耐高溫 的光阻嗎?

看板NEMS作者 (pk)時間14年前 (2011/03/29 22:39), 編輯推噓1(1推 0噓 1→)
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請問一下~ 有可以耐高溫300度左右的光阻嗎? 希望在製程溫度300度後 光祖仍可以順利移除 請提供感恩~ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.113.5.156
推
03/29 22:57, , 1F
有點模糊耶!!怎樣的耐高溫？爐管抽真空？還是直接加熱？
03/29 22:57, 1F
→
03/29 23:07, , 2F
專門當犧牲層的就可以～～Microchem、shinetsu 都有
03/29 23:07, 2F
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