[問題]玻璃黃光製程問題

看板NEMS作者taro1986 (芋頭)時間13年前 (2011/02/22 23:02)推噓2(2推 0噓 3→)

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想請問一下我是用玻璃做AZ4620的黃光製程每次顯影完後非結構地方(應該要顯影掉的地方)都會出現一大面霧狀泡泡原本想說是否是HMDS的問題所以又製作一片沒有HMDS的試片結果還是一樣不知道有沒有人有發生相同狀況可以提供一點意見? 感恩! -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.113.174.21

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Jinuse

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SkyLark2001

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SkyLark2001

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