[問題] 請問有關選擇性金屬氧化製程
各位好，
最近我正在尋找一種能夠做選擇性金屬氧化的微製程。但是所謂選擇性金屬氧化，是指
同時有曝露出兩塊金屬面，只將其中一塊氧化成介電絕緣層，另一塊盡量維持金屬面，
之後再沉積金屬在上面做contact。基於某些原因，不能用mask的方法蓋住其中一塊金屬
進行選擇性氧化，而比需利用化學、物理、或其他原理來選擇性氧化其中一塊金屬。
現在想到的，是類似選擇兩種氧化速度不一樣的金屬來做，像是鋁跟金等等的，或是用
化學特性來對不同金屬進行氧化。還有一種，就是用陽極氧化來反電鍍，將其中一塊
氧化，比方Anodize氧化鋁製程。但是這需要能有辦法將要氧化的那塊金屬導電導出來。
不知道各位有沒有接觸過什麼類似的製程或化學方式，可以完成這樣的需求呢? 或是有
什麼方向可以提供作為搜尋的關鍵字?
感激不盡
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※ 編輯: CRAZYDRAGON 來自: 128.227.210.66 (01/08 01:59)
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01/08 15:09, , 1F
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