[問題] 請教一下矽濕蝕刻

看板NEMS作者 (暫無)時間13年前 (2010/10/24 07:21), 編輯推噓8(8推 0噓 4→)
留言12則, 9人參與, 最新討論串1/1
我想詢問一下版上有沒有人用KOH蝕刻矽, 然後用金屬當擋罩,如Au/Cr 或是 Ti...等? 受限於設備和時間,沒辦法送代工做擋罩.而且要蝕刻500um...(太深了) 希望能有人有這樣的經驗,謝謝!! -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.112.38.245
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10/24 13:47, , 1F
硝酸+HF+水也可以蝕刻矽，比較快一點，但500um也太深了@@"
10/24 13:47, 1F
推
10/24 14:18, , 2F
用PECVD 的SiN當mask呢
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10/24 15:18, , 3F
用溼蝕刻吃500um......你有沒有考慮到undercut的問題
10/24 15:18, 3F
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10/24 17:37, , 4F
金屬應該檔不住KOH
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Si3N4 擋 ok 可以吃穿
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10/24 23:04, , 6F
如果說用HF+CH3COOH 金屬有可能擋得住嗎?它們都是弱酸
10/24 23:04, 6F
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這不是小宗宗嗎?!
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10/25 13:43, , 8F
不過你是想吃整片Si-sub 還是只有吃某些地方?! 這也有差
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10/28 22:51, , 9F
只吃圖案部分,面積大約佔10%左右...
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11/04 13:58, , 10F
ICP直接轟到底啊!!!真男人!!!
11/04 13:58, 10F
推
11/12 22:16, , 11F
他們實驗室應該沒有這本錢 直接轟到底....
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05/09 13:32, , 12F
TMAH 以 SiO2 當作mask
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