[問題] 自己做光罩?

看板NEMS作者 (大三)時間14年前 (2010/06/22 08:30), 編輯推噓12(12推 0噓 4→)
留言16則, 12人參與, 最新討論串1/1
各位先進前輩大家好 我們老師最近叫我自己做光罩... 他的構想是這樣... 自己準備1mm厚的石英 鍍上一層鉻之後 再塗布上光阻 經過曝光顯影後 把原來光罩上的 pattern轉移到光阻上 然後再用鉻蝕刻液 把鉻蝕刻掉 然後再去除掉光阻 這樣子... 我是覺得有點強人所難了.. 不過他說做完才能畢業= = 各位先進覺得這樣可行嗎? 請問有人做過相同的事情 或是有甚麼建議嗎? -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 134.208.23.43
推
06/22 09:50, , 1F
出錢是老大
06/22 09:50, 1F
推
06/22 13:25, , 2F
那你曝光的時候不就需要一個光罩?~還是說是用ebeam?
06/22 13:25, 2F
推
06/22 13:38, , 3F
這是為了讓鉻有pattern吧?
06/22 13:38, 3F
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06/22 13:44, , 4F
這算是複製光罩吧? 如果只是做個堪用的交差也不算難
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06/22 14:21, , 5F
打電話訂石英,e-gun鍍Cr兩小時，黃光兩小時，蝕刻清洗
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06/22 14:21, , 6F
30分鐘 ... 有沒有一個下午就畢業的八卦啊 ○rz
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06/22 15:37, , 7F
挺簡單的work
06/22 15:37, 7F
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06/22 17:50, , 8F
解析度多少? 但設備都齊全的話 真的蠻簡單的阿!
06/22 17:50, 8F
推
06/22 20:52, , 9F
其實花個七千塊就......
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06/22 20:53, , 10F
不過這樣複製有意義嗎?
06/22 20:53, 10F
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06/22 21:25, , 11F
複製光罩的話 有賣空白光罩 (玻璃鍍Cr+PR 軟烤)
06/22 21:25, 11F
推
06/22 21:28, , 12F
單片價格應該比你自己來便宜
06/22 21:28, 12F
推
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你一個下午就搞定的話 就有更難的來了
06/23 22:50, 13F
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甩光阻的時候要小心點...玻璃是方的，重心要抓準一點...
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製程不難，除非要做到1~2um，或是幾nm的話...那就另當別論了
06/25 01:02, 15F
推
07/04 13:24, , 16F
看來你在做鉻蝕刻，光阻周圍底下的鉻多多少少會被蝕刻掉
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