[問題] 石英基板蝕刻

看板NEMS作者 (我應該是快撐夠了吧)時間14年前 (2009/12/02 09:51), 編輯推噓2(2推 0噓 1→)
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請問各位先進 要用甚麼方法蝕刻石英基板0.2 um, 線寬很大. -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 128.237.234.74
推
12/02 14:13, , 1F
FIB?
12/02 14:13, 1F
→
12/02 16:09, , 2F
線寬很大是大到哪種程度?
12/02 16:09, 2F
推
11/01 09:12, , 3F
到底是大到哪種程度?
11/01 09:12, 3F
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