[問題]有關厚光阻購買 參數問題

看板NEMS作者 (阿港)時間14年前 (2009/10/12 20:49), 編輯推噓2(2推 0噓 0→)
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大家好，小弟我實驗室微機電製程要做微流道結構， 在尋找厚一點的光阻，能塗到20~60μm ， 目前找到的有SU-8，NPR-2500F，AZ 4620 ，AZ 9260， SJR 5740，NR5-8000 不知道能不能分享使用的經驗，跟哪家廠商買較有效率，因為急需。 目前知道SU-8 可以塗比較平坦，但相對比較貴和不好去除， 實驗室經費有限，希望也能知道其他選擇做結構的厚光阻，感謝!! -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.112.94.172
推
10/13 08:56, , 1F
SU-8沒有比較平坦吧 4620應該就可以到60um了 我之前做過
10/13 08:56, 1F
推
10/22 01:37, , 2F
推樓上，SU-8沒有時間還是別用的好XD
10/22 01:37, 2F
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