[問題]關於SU8-1075 & SU8-1070的問題

看板NEMS作者 (沒有心的心)時間14年前 (2009/10/12 13:02), 編輯推噓2(2推 0噓 2→)
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小弟因為要做結構的關係，需要底層先旋塗約50um的高度後再旋塗一層約250um的 高度(兩層光阻中間有夾放東西，)，實驗室目前有的光阻就是 1075 & 1070，所以 想法就是先旋1070的50um軟烤後再旋1075的250um，只是不知道這樣子的兩個光阻 能不能疊在一起做 ? 再來就是參數的問題，如果兩個光阻可以疊在一起，那要怎 麼選用硬烤跟曝光參數?? 麻煩大家給我點意見了，3q~ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.121.125.94
推
10/12 13:45, , 1F
兩層的pattern是否相同? 上面那層有懸浮結構嗎?
10/12 13:45, 1F
推
10/12 14:10, , 2F
之前看SPEC他是寫不要完全烤乾就可以再上另一層
10/12 14:10, 2F
→
10/12 16:19, , 3F
兩層的PATTERN算是一樣的~然後上層沒有懸浮結構~
10/12 16:19, 3F
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10/12 16:21, , 4F
那我參數的設定是要以1070為主還是1075?? 或是要另外設訂定?
10/12 16:21, 4F
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