[問題] 玻璃基板與金屬的黏著性問題

看板NEMS作者 (嗯)時間15年前 (2009/07/31 17:21), 編輯推噓6(6推 0噓 6→)
留言12則, 6人參與, 最新討論串1/1
因為敝實驗室沒有用過玻璃基板的經驗 請問一下有使用過玻璃基板的高手 我如果在玻璃基板上用RF sputter 100nm厚的銅薄膜 銅跟玻璃基板的黏著力好嗎? 有沒有可能清洗的時候就掉下來了 不好意思請教大家了 感激不盡! -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.114.23.239
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07/31 19:28, , 1F
我沒用過....但可能要先上一層HMDS ?!
07/31 19:28, 1F
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08/01 00:25, , 2F
加HMDS會不會太扯了，無機和有機材料之間的耦合劑而已
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08/01 00:27, , 3F
萬用?! 能加都加XD .. 先鍍層Cr或Ti當adhesion layer
08/01 00:27, 3F
推
08/01 12:52, , 4F
嘿.. 加了可能在清洗時全部掉下來
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08/01 12:52, , 5F
打上去的
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08/02 22:55, , 6F
在做LCD的時候是看過動畫上說要加HMDS 但我沒試過就是了
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08/02 22:56, , 7F
原來不能加阿? 看過友達的動畫影片上面是如此寫的
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08/02 22:57, , 8F
阿 沒事 我看成光阻跟玻璃基板了 呵呵 @@"
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推
08/03 00:54, , 9F
好奇原PO如果已經去試的話 現在應該在哭哭了
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08/03 01:31, , 10F
實驗就是一連串的TRY&ERROR
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推
08/03 09:15, , 11F
被版主虧了 :'(
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08/03 10:23, , 12F
有嘗試過玻璃上鍍Al做測試,負荷在100um下薄膜沒有受損
08/03 10:23, 12F
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