[問題] PDMS降低粘滯係數的方法?
我們實驗室購買了PDMS 型號184A
由於製程需要,我們想要使用在極小尺寸上(50nm)左右
但由於粘滯係蠻大的,所以在小線寬上PDMS不能填充完全
想說要用稀釋的方法降低粘滯性
但知識有限
想問版上的先進,有哪些東西可以降低PDMS粘滯性
或是更低粘滯係數的PDMS溶液!!
謝謝!!
順帶一問,使用PDMS溶解液溶解沾粘在石英玻璃試片上的PDMS
有哪些更好的方法?
在下試過,一般常溫中放置12小時
加熱50°C
使用超音波振盪
但效果不是很好,不知有哪些更好的方法
懇請各位先進賜教!
謝謝!
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