[問題] PDMS與矽晶圓

看板NEMS作者 (沒有心的心)時間15年前 (2009/06/07 14:47), 編輯推噓3(3推 0噓 2→)
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想請問一下，基材如果用的是矽晶圓的話， 有沒有什麼辦法或方式讓PDMS可以接合在 矽晶圓(包含正反兩面)上? 麻煩大家指導一下，感謝。 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 123.192.170.74
推
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在液態的時候 直接淋上去 然後烤乾就可以了
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沒有說明清楚，因為PDMS上有流道，所以沒辦法在液態的時候直
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接淋上晶圓，必須在PDMS是固化狀態，不好意思>"<
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推
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矽晶圓正面氧電漿打過加熱接合 反面矽力康直接黏
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推
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買雙面拋光wafer, 這樣就可以都用氧氣電漿接合了
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