[問題] 請問HMDS要滴多少?

看板NEMS作者 (書的第一頁)時間15年前 (2009/05/18 03:44), 編輯推噓5(5推 0噓 9→)
留言14則, 11人參與, 最新討論串1/1
不好意思 不知道這種問題會不會很笨 但沒有學長和人可以問 網路上也沒有查到資料 只好上來求救 4''的si wafer要滴多少HMDS呢? 要用spin coater的 不是氣相的喔 感謝大家了 大概多少ml? 如果沒辦法量化 用模糊一點的描述或一個區間也可以 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 58.114.109.171
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05/18 03:52, , 1F
氣相都2ml了... 用SPIN的要很少吧... < 0.1ml?
05/18 03:52, 1F
推
05/18 13:58, , 2F
現在很少看到有人用spin coater在塗了 因為超毒的
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推
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沒處理好你就上電視了
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05/18 18:06, , 4F
整片都有就好 樓上太誇張了
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感謝大家的回答 謝謝 我會小心不上電視的
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揮發很快 不用塗太多 塗完要快點轉開 不然會不見
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以前好像硬作 六千還八千轉忘了 但沒什麼用
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如果你的HMDS很多 那就滴多一點 HMDS很少就滴少一點
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有帶防毒面具的話就不會上電視囉
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推
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阿... 我也是有戴防毒面具~ 但是研究生戴的豬鼻子感覺就像
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玩具板斗城買的玩具~~~ HMDS這麼毒~用這麼隨便的防毒面具
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真的有用嗎??? 還是心理安慰...
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推
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還是有過濾罐阿...別怕 記得要定期換就是了...XD
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05/26 00:16, , 14F
跟你同一間黃光室的其他人也有戴濾毒罐嘛?
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