[問題] 想請問北微的SF6蝕刻各種材料的速率

看板NEMS作者 (matlab=中學數學)時間15年前 (2009/05/03 23:48), 編輯推噓1(1推 0噓 5→)
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想請問一下有在使用台大北區奈米微機電中心RIE的使用者們 中心裡面純SF6蝕刻 Si 跟 普通PR 的速率 以及相關的製程參數，例如流量 氣壓 功率等 非常感謝! -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 61.228.103.160
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這種參數 每台機台每個sample試出來都不一樣
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而且光試一個recipe 可能是別人花了很多時間的結果
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為何自己不花時間去試參數? 更何況這paper也查得到
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推
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推一下北微...XD (沒想到PTT上好多北微人)
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我也希望可以自已試參數啊，可是老師現在預算很緊...
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要我們做實驗又一直喊沒錢真的是很無言
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文章代碼(AID): #19_Rph05 (NEMS)