[問題] 矽材鑽孔？

看板NEMS作者 (D_wade)時間17年前 (2009/04/16 23:09), 編輯推噓2(2推 0噓 2→)
留言4則, 4人參與, 最新討論串1/1
請問想在silicon wafer用蝕刻的方式吃穿有什麼方法？ 除了　電化學蝕刻　或　ＤＲＩＥ　有其他方法嗎 是否有其他的鑽洞方式 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 218.168.182.225
推
04/16 23:50, , 1F
KOH
04/16 23:50, 1F
→
04/17 01:23, , 2F
KOH不是只能吃角度 能吃穿嗎?
04/17 01:23, 2F
→
04/17 01:37, , 3F
根據你開的孔徑大小 如果開口越大 就能夠吃穿
04/17 01:37, 3F
推
04/17 12:46, , 4F
用雷射鑽孔?
04/17 12:46, 4F
‣ 更多 wade1314 的文章
文章代碼(AID): #19vqe_kM (NEMS)