[問題] E-gun鍍金屬的 "非等向性" 如何?

看板NEMS作者 (matlab=中學數學)時間17年前 (2009/03/26 00:36), 編輯推噓1(1推 0噓 2→)
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究竟E-gun鍍金屬出來的輪廓是比較像哪一種的? conformal 還是 anisotropic? 或是介於兩者之間??那比較偏向哪一邊呢? 我的意思是說如果今天我鍍50奈米的Cr好了 那對於垂直壁來講 它大概會被鍍上幾奈米降子?? 希望有經驗的使用者能分享給我一下 謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 61.228.103.41
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照理論來講 側壁是不會鍍上去的 因為準值性很高
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推
04/07 07:25, , 2F
鍍過100um厚度的SU-8,側壁鍍得上去,不論載具是公轉自轉
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或僅公轉，沈積厚度到一定程度側壁可以明顯看得出來
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