[問題] Si的等向性 與 非等向性蝕刻

看板NEMS作者 (matlab=中學數學)時間17年前 (2009/03/22 22:25), 編輯推噓1(1推 0噓 1→)
留言2則, 2人參與, 最新討論串1/1
請問除了KOH以外 其它常見的蝕刻液都是等向性蝕刻? 例 HNO3 : NH4F : H2O 又 這種蝕刻液要倒哪個廢液桶啊?? 不好意思 好像問了很多很常見的問題 呵呵 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 61.228.112.243
推
03/23 22:30, , 1F
這三個都是酸的 當然倒酸桶啦!~
03/23 22:30, 1F
→
03/26 01:00, , 2F
thank 樓上
03/26 01:00, 2F
‣ 更多 newbrain 的文章
文章代碼(AID): #19nafD2N (NEMS)