[問題] 蝕刻矽晶背過後

看板NEMS作者 (TEM topic)時間15年前 (2009/02/09 23:43), 編輯推噓1(1推 0噓 2→)
留言3則, 3人參與, 最新討論串1/1
各位 想請教各位 就是利用乾蝕刻蝕刻矽晶片背面之後 over etch至silicon 為何去沾BOE 晶背會沾水 想請教各位 是因為CHAMBER太髒 導致晶背太髒而沾水 還是因為晶背的表面粗糙度所造成 感謝回答 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 61.228.110.71
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02/10 00:44, , 1F
乾蝕刻時有貼背膠嗎??..會不會是殘膠導致??
02/10 00:44, 1F
推
02/10 12:49, , 2F
被電漿打過之後變成親水性?
02/10 12:49, 2F
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02/10 18:10, , 3F
膠帶只貼在WAFER邊邊
02/10 18:10, 3F
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