[請益] 濺鍍鋁膜
我也有遇到相同的問題,
請問在sputter前, 是否一定要將鋁靶材拋光?
賣靶材的廠商有告訴我要clean,
但是不知道要怎麼處理
※ [本文轉錄自 Master_D 看板]
作者: app13 (QQ) 看板: Master_D
標題: [請益]濺鍍鋁膜
時間: Sat Oct 25 17:53:08 2008
最近需要濺鍍(sputter)鋁膜(厚度約50nm)
原先實驗室有一塊表面有變黑色的鋁靶，有用砂紙把它磨到表面變成有金屬光澤了
不過濺鍍的結果發現沒鍍上去
所以後來買了一塊新的鋁靶
但不論新舊鋁靶
每次濺鍍的功率都大概開80~100瓦，鍍了2~10分鐘，真空度也都有到10的-5次方
鍍了幾次仍然都沒鍍上去(即使是後來鍍到10分鐘的也是)
(有用電表量過完全沒電性，故認為沒有鋁膜濺鍍上去)
對於新的鋁靶，每次預鍍也都有10分鐘
但機台其他同學鍍其他的靶材都ok
實在是百思不得其解
煩請有經驗的各位不吝提供一些建議
謝謝大家!
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