[問題] 關於Comb Actuator的製作
雖然comb型式的actuator/resonator已經是商用mems gyro中常見
的零件,但國內除了清大動機的方老師以外,放眼台灣產學研
單位有成熟穩定製作這零件能力的似乎不多? 台灣號稱搞mems
的學研界人士似乎弄micro structure的占大多數,但專精於作
actuator的真的很少。 不知道這是錯誤偏見或印象嗎?
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