[抒發] 有人做元件狀況比我還糟的嗎?
首先我實驗一直偏弱,大學實驗成績也是偏後面,但是碩士還是選讀了這一組。
第一次使用spin coater,元件還噴出來,別人都沒有這個問題(雖然之後也沒發生了)。
學習機台,別人學兩三次就會的,我學個五六次才會。不過這些都還好,讓我崩潰的是,
這三個月努力做製程,沒有任何一個元件是成功的,而且不是畢業要拿來發表的,只是練
習等級的元件。比如說:一個MOS capacitor(還不是MOSFET喔),量出來電容跟面積呈1.
幾次方(還滿顯著的)。量個Au/Si/Au的元件(主要是implant Si,看不同anneal的參數),
做了兩次,都出現diode曲線(有注意到鍍Au前要泡BOE)。要不然就是lift-off出現學長
做了兩年都沒有出現的問題。
每次量不出正確結果,心情都很差。有人做元件做得比我還慘的嗎?
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