[技術] 關於真空閥門漏氣時間

看板Mechanical作者 (單程車票)時間9年前 (2014/11/07 18:16), 9年前編輯推噓5(5推 0噓 5→)
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各位板上大大們好， 小弟想在這裡請問一下如果我使用一個標榜leak rate為10^-9 cc/s的閥門將 一個抽至10^-3 torr的chamber(體積1公升，鋁材質)關起來後關掉pump， 那chamber 壓力上升至5*10^-3 torr 的時間為多少? 我在手邊的資料看到一個公式 : t=c*(V/S)*ln(Pi/Pf) t:pumpdown time, V:chamber volume, S:system pumping speed Pi:initial pressure, Pf:final pressure c: correction factor = 1.0 between Atm and 10 torr 1.5 between 10 torr and 5 torr 2.0 between 5 torr and 50m torr 4.0 between 50m torr and 1m torr 因此若直接代入這式子可以得到 : t=4*(1000/10^-9)*ln(1/5)~6.44*10^12 s~20萬年... 但這怎麼想都不太可能， 請問有哪裡遺漏的嗎? 在這裡先謝謝回答的大大 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 140.109.113.31 ※ 文章網址: http://www.ptt.cc/bbs/Mechanical/M.1415355373.A.C0B.html
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11/07 18:44, , 1F
我算了一下才57天而已
11/07 18:44, 1F
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11/07 18:48, , 2F
樓上的大大可以請問你怎麼算的嗎?謝謝
11/07 18:48, 2F
推
11/08 00:16, , 3F
leak rate 的單位是 壓力*體積/時間吧 比如說torr*L/s
11/08 00:16, 3F
http://www.pchemlabs.com/product.asp?pid=4246 他前面有特別說是在STD的條件下 ※ 編輯: escorpion (1.171.178.185), 11/08/2014 00:32:43
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11/08 00:52, , 4F
重點是一般真空元件的洩漏率是用氦為基準的
11/08 00:52, 4F
推
11/08 00:54, , 5F
另外也不能只看閥，腔體本身的逸氣量也要算進去
11/08 00:54, 5F
推
11/08 00:59, , 6F
那個公式是pump down用的
11/08 00:59, 6F
其實我不太知道該如何把chamber outgassing加到這個式子裡面.... ※ 編輯: escorpion (210.197.159.227), 11/08/2014 22:34:35
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11/08 22:40, , 7F
啊，不就算出一公升容器，壓力升上去要多少氣體
11/08 22:40, 7F
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11/08 22:41, , 8F
再用洩漏速度(壓力就NTD或STD)的氣體量
11/08 22:41, 8F
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11/08 22:41, , 9F
算要多少時間就好了(約當啦)
11/08 22:41, 9F
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11/08 22:42, , 10F
因為外部壓力遠大於內部壓力，估計洩漏速率不變
11/08 22:42, 10F
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