[徵求] 腔體冷卻流道設計

看板Mechanical作者 (Leo)時間10年前 (2013/10/31 15:33), 編輯推噓1(1推 0噓 0→)
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各位大大好 因為研究所論文要做腔體冷卻流道設計 不知道各位有沒有這方面的資訊或資料 可以讓我了解到實際腔體冷卻流道一般是怎樣做的? (能是CVD腔體的最好) thx -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.135.96.146
推
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Breaker 關掉一直pump vent重點是怕有化學殘氣
11/09 14:20, 1F
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