[請益] sputter如何沈積在空心管內

看板Mechanical作者 (asashi)時間12年前 (2011/10/12 01:52), 編輯推噓1(1推 0噓 1→)
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請教一下 有一個空心管(外徑15cm 內徑10cm) 想要用sputter沈積二氧化矽材質 在管內 大概要怎麼做才能沈積在裡面?? 要做治具還是有何方法? 謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 218.173.156.16
推
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六吋大小e-gun sputter應該都可以吧,只要Chamber放得下
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有些人的sputter chamber是客製自己組的..
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