[請益] 請問關於微結構的製作
各位好!
事情是這樣的,由於我的論文需要使用到Si製程的微懸臂樑!
因此有向國外(德國,SiMETRICS)廠商訂購ㄧ組
但拿到後發現試片黏在ㄧ個玻璃(硼矽)基板上!
因實驗要求需要將玻璃基板給移除掉!
可是在寄信給原廠詢問移除的方法,得到的答案是他們使用的黏著劑是特殊用
沒辦法用ㄧ般方式去除!
想請問各位是否有其他可行的移除辦法!
將玻璃基板移除掉且不會損壞到微懸臂樑結構
如果沒有較佳的方式!
是否有其他廠商在專門製作微結構??
而在製程中懸臂樑的平整度和精度希望可以很精準
我對微機電製程這方面不是很了解
想請教各位前輩,謝謝!
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