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[請益] 流量和壓力的問題
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DaChung
(MooK)
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15年前
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(2009/09/04 01:56)
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問題一 假如氫氣和氮氣各為10sccm 請問一下 要如何估算各自氣體的粒子數 問題二 如果A氣體流量有X sccm 以及 Y sccm , 利用電動閘門使兩流量在腔體壓力固定在 Z torr時 請問這表示兩個流量在 Z torr時的粒子數相同嗎? --
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 163.25.96.183
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