[請益] BOE會吃藍寶石基板嗎?
各位大大好
我有一片GaN on Sapphire的片子
因為用MBE成長GaN故需要在Sapphire側鍍鈦
現在片子長好後想將那層鈦去掉
已知BOE會吃鈦
無奈吃的速度太慢
(之前GaN on GaN的片子泡了快一天才將鈦吃乾淨)
這次也想將GaN on Sapphire這片用泡BOE的方式去鈦
但因為Sapphire即Al2O3，猜測會被BOE蝕刻
Google的結果只有一篇中國的有寫到Sapphire substrate是Alpha Al2O3
晶體節結構不同，所以不會被BOE蝕刻
但我對26的言論持保留態度
因此想問版上的各位大大有沒有類似經驗?
藍寶石基板到底會不會被BOE蝕刻?
謝謝
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