[請益] 非晶矽濕性蝕刻配方請教

看板Master_D作者 (月炎)時間12年前 (2013/11/25 11:16), 編輯推噓0(0推 0噓 1→)
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各位好 請問一下ITO玻璃上的非晶矽 有甚麼效果好的濕性蝕刻袪除 目前我知道可以用KOH水溶液 還有HF+HNO3+CH3COOH 兩種配方 但HF這個配方會吃掉玻璃 不考慮 不知道還有甚麼好的配方?? 又不會把玻璃吃掉 謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 120.126.11.233
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126 如此水準
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