[請益] 關於蝕刻GaN問題

看板Master_D作者 (最強地球人-克林)時間13年前 (2012/12/24 13:22), 編輯推噓2(2推 0噓 4→)
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請問我有一批以圖形化藍寶石基板做底的藍光LED chip 已經打上電極,我想知道圖形化藍寶石基板的結構,有甚麼溶劑可以 洗掉GaN而不吃到藍寶石的嗎? -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.118.181.92
推
12/25 14:16, , 1F
GaN的話 用HCl、硫磷酸混合液都可以吃
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12/25 14:17, , 2F
對於Sapphire有沒有蝕刻我就不清楚了
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電極假如想洗掉的話 先用王水
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推
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紫外線+氫氧化鉀
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shadow大請問用紫外加KOH就可以得到完整的藍寶石圖型了?
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可否站內信比較詳細的做法呢?
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