[請益] 量凹洞深度

看板Master_D作者 (大同)時間13年前 (2012/10/05 13:50), 編輯推噓5(5推 0噓 0→)
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我這邊有個sample深度大概800nm 長度大概4um 請問有什麼儀器可以量到凹洞深度嗎? AFM的精準度好像只能500nm以下? 因為材料的關係不能放到SEM腔體裡面 想請問還有什麼儀器可以量到深度 謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.115.41.157
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surface profiler, 或稱a-steper.
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推
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阿法
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keyence
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Zygo's tool, we buy it,we can help you to measure
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台大奈米中心的 NANO INDENTOR 可以打深度順便測E
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