[請益] 薄膜的排列整齊度可用哪種儀器測得?

看板Master_D作者 (蒙面加菲貓)時間14年前 (2011/04/07 17:06), 編輯推噓2(2推 0噓 1→)
留言3則, 2人參與, 最新討論串1/1
如題~~ 材料為氫化非晶矽鍺薄膜 長在玻璃上 由於是非晶 沒辦法利用XRD了解 矽和鍺原子間的排列 目前知道用模擬的可以知道 想問說有哪些儀器可以測得矽和鍺原子間的排列呢? 感謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.120.32.143
推
04/07 17:26, , 1F
只能靠光罩的準確度，和利用SEM觀察了...
04/07 17:26, 1F
推
04/08 11:05, , 2F
TEM?
04/08 11:05, 2F
→
04/08 11:06, , 3F
HRTEM
04/08 11:06, 3F
‣ 更多 h54747 的文章
文章代碼(AID): #1DdNw1O1 (Master_D)