[請益] 二氧化鈦蝕刻問題?

看板Master_D作者SRDK (SRDK)時間15年前 (2010/12/21 15:39)推噓2(2推 0噓 4→)

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請問一下有人在做二氧化鈦鍍膜有遇到蝕刻的問題嗎??? 我現在是用PECVD的方式鍍膜，前驅物為TTIP 鍍膜時電極管(玻璃)都會有一層白白的二氧化鈦有甚麼方法可以把它除去??? 我目前試過用37%的鹽酸~失敗 95%硫酸~失敗用電鑽裝刷子直接刷~也失敗如果不將玻璃清乾淨鍍膜速率會下降所以想請問一下有沒有人遇到這樣的問題??? 肛溫!!! -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.127.180.63 ※ 編輯: SRDK 來自: 140.127.180.63 (12/21 15:39)

推

garyln

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zarya120

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zarya120

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