[請益] O2 plasma

看板Master_D作者 ( )時間14年前 (2010/07/31 13:11), 編輯推噓3(3推 0噓 0→)
留言3則, 3人參與, 最新討論串1/1
各位版友大家好 我們實驗室買了一台plasma cleaner 原廠提供是用空氣來做電漿氣體 由於實驗需求想要改成O2 plasma 但卻發生了一些問題 氧電漿點不起來(看不到輝光) 由於機器是提供29W的RF POWER(本機型最大的功率值) 真空約抽至1*10^-1左右 不知道是我們真空抽不夠還是功率太小 想麻煩有經驗的人提供一下意見 謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.128.194.201
推
07/31 17:00, , 1F
POWER有點小喔,壓力可以在低一點
07/31 17:00, 1F
推
08/01 20:25, , 2F
壓力到^-2看看,purge 有確實做嗎?
08/01 20:25, 2F
推
08/11 17:18, , 3F
先固定功率,壓力調低看看.
08/11 17:18, 3F
‣ 更多 allencce 的文章
文章代碼(AID): #1CKx23Yg (Master_D)