[請益] emissivity
假設一個問題 susceptor上放一片wafer
這個susceptor由SIC 所組成
另一個susceptor 由C組成 上面coatingSIC
兩個chamber的condition 都一樣的話
那我應該只要找出 哪一個的emissivity比較大 他的growth rate 應該就比較高
http://www.monarchinstrument.com/pdfs/TableofEmissivity.pdf
可以看到carbon graphited 在500度C的emissivity是0.71
但是SIC在149-649度C的emissivity 是0.83-0.96
這樣說來應該是SIC的材質比較有利 growth rate才是吧~~
大家可以給我一點意見嗎?? thx~
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