[請益]氧化物濺鍍率

看板Master_D作者 (QQ)時間17年前 (2008/12/25 17:30), 編輯推噓1(1推 0噓 1→)
留言2則, 2人參與, 最新討論串1/1
請問有哪本書或哪篇文章有寫到ITO以及ZnO大概的濺鍍率？ 或者那位板友有經驗 煩請告知一下 這兩種氧化物在同樣的製程參數下哪個濺鍍率較快？ 非常感謝大家的回答！ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 218.174.32.131
→
12/25 18:09, , 1F
據我所知 每台機器都不一樣= =
12/25 18:09, 1F
推
12/25 19:26, , 2F
機台&靶材 兩大變數 根本無法完全套用別人的參數
12/25 19:26, 2F
‣ 更多 app13 的文章
文章代碼(AID): #19KrAyBI (Master_D)