[請益]橢圓儀(Ellipsometer)

看板Master_D作者 (QQ)時間17年前 (2008/11/08 17:58), 編輯推噓3(3推 0噓 8→)
留言11則, 4人參與, 最新討論串1/1
請問各位 若完全不知道自己試片的膜厚的情況下 用橢圓儀是否能夠量到精準的膜厚ꄊ (膜厚是奈米等級的) (因為有聽學長說用橢圓儀還是要大概知道一下大約的膜厚，這讓我覺得那橢圓儀就 不是一個量膜厚的好工具) 煩請有經驗的板友告知一下 謝謝！ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 59.105.45.188
推
11/08 23:05, , 1F
有些橢圓儀需要先輸入大概n和d值...然後量出來後在修正
11/08 23:05, 1F
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11/08 23:07, , 2F
使用夾擊逼近法 直到量測出的n和d你輸入的n很接近時 就是了
11/08 23:07, 2F
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11/08 23:08, , 3F
如果能使用a-step量測剖面也更好 畢竟用光學儀器量的 其實..
11/08 23:08, 3F
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11/08 23:09, , 4F
大多都是依據材料反射頻譜 折射率(n,k) 估算出來 不見得是
11/08 23:09, 4F
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11/08 23:10, , 5F
實際上的厚度 會因為使用錯誤的參數量測出錯誤的厚度出來
11/08 23:10, 5F
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11/08 23:11, , 6F
當初也是這樣 自己修正參數在配合a-step的值 把材料正確的
11/08 23:11, 6F
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11/08 23:11, , 7F
參數表弄出來..這樣使用光學儀器量出的膜後接近a-step量測的
11/08 23:11, 7F
推
11/09 02:47, , 8F
據我所知 有些材料 有雙折射率 (n,k)不好估
11/09 02:47, 8F
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11/09 02:48, , 9F
他測出來的膜 有個周期循環 所以你要大概知道是多少
11/09 02:48, 9F
推
11/10 13:03, , 10F
用反射率...
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11/26 18:09, , 11F
外國人的浪漫
11/26 18:09, 11F
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