[請益] ITO玻璃蝕刻

看板Master_D作者 (神)時間16年前 (2007/10/12 10:36), 編輯推噓4(4推 0噓 13→)
留言17則, 5人參與, 最新討論串1/1
想請問大家有哪家廠商有再幫忙蝕刻ITO pattern 或者有哪家廠商有賣蝕刻液(穩定)? 因為自己配的蝕刻液很不穩定,常常過蝕刻,實在很痛苦... 謝謝大家幫忙^^ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.113.190.204
推
10/12 10:41, , 1F
這變因太多了吧 請問你用的蝕刻方式是什麼 溫度 種類 濃度
10/12 10:41, 1F
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10/12 10:42, , 2F
這可以微調的
10/12 10:42, 2F
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10/12 10:42, , 3F
線寬也跟過蝕刻的忍受程度有關係吧
10/12 10:42, 3F
推
10/12 10:49, , 4F
補充　我是用氯化鐵加鹽酸5% 溫度75度　線寬40um　
10/12 10:49, 4F
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10/12 10:52, , 5F
可以試試稀釋過的王水 溫度只要四十幾 蝕刻完會很準
10/12 10:52, 5F
推
10/12 21:44, , 6F
原po說的 要是猜的沒錯 蝕刻會很快 因為我們現在也用這
10/12 21:44, 6F
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10/12 21:45, , 7F
建議改成稀鹽酸+硝酸 以及檢查你的光阻是否檔的住
10/12 21:45, 7F
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10/12 21:46, , 8F
有時候光阻也是一個小問題 不過還是你的蝕刻液該換一下
10/12 21:46, 8F
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10/12 21:47, , 9F
蝕刻過快 有時候你藥水穩定性不穩 秒數差一點 就會吃過頭
10/12 21:47, 9F
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10/12 21:48, , 10F
所以還是換稀鹽酸+硝酸那種 雖然蝕刻速率慢 但至少吃的準
10/12 21:48, 10F
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10/12 21:49, , 11F
比較不會發生嚴重吃過頭的現象
10/12 21:49, 11F
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10/12 21:50, , 12F
另外可以不用加溫 因為加溫會加速反應.常溫雖久但幾乎不過頭
10/12 21:50, 12F
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10/12 22:43, , 13F
玻璃經過熱處理也能抑制側蝕喔
10/12 22:43, 13F
推
10/12 23:20, , 14F
如果在意ITO膜的特性　不介意熱處理　尤其是超過300度以上
10/12 23:20, 14F
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10/12 23:20, , 15F
高溫熱處理ITO片電阻會升高,雖然ITO成長要超過200度才是單晶
10/12 23:20, 15F
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10/12 23:22, , 16F
不是介意，是不建議
10/12 23:22, 16F
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10/06 05:18, , 17F
希望對您有幫助 http://go2.tw/goz
10/06 05:18, 17F
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