[請益] BOE 與 DHF 配方

看板Master_D作者 (!@#)時間18年前 (2007/05/16 17:11), 編輯推噓1(1推 0噓 2→)
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請問一下蝕刻用劑 BOE 是 HF : NH4F = ? : ? DHF 是 HF : H2O = ? : ? ---- 我查到的資料 BOE 是 HF : NH4F = 1 : 6 而 DHF 是 HF : H2O = 1 : 100 另一個 DHF 是 HF : H2O = 1 : 10 不知道哪個對? -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.112.16.95
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05/16 21:32, , 1F
交大奈米中心DHF HF : H2O = 1:100,BOE NH4F：HF=6：1
05/16 21:32, 1F
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05/17 11:52, , 2F
想到就頭皮發麻的液體
05/17 11:52, 2F
推
05/17 12:59, , 3F
感謝感謝~
05/17 12:59, 3F
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