問一個微影的問題

看板Master_D作者 (樂天小熊餅乾)時間19年前 (2007/02/06 18:02), 編輯推噓1(1推 0噓 0→)
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如果要搜尋用微影製程製造出來的結構(不是一層film喔) 就是看的到表面被e-beam or 蝕刻所產生的'構造' 例如可能是金字塔或是凹半圓形的外觀 keyword除了lithgraphy and pattern外,還有什麼可以打的呢? -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.96.154.95
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去查EIPBN的paper，應該會有你想要的資訊！
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