[請益]半導體製程問題

看板Master_D作者 (瑋)時間17年前 (2006/11/06 14:38), 編輯推噓1(1推 0噓 1→)
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請問各位製程的高手 最近實驗室想用 熱CVD 通入磷 & 硼雜質造成缺陷 目前計畫利用 B(OCH3)3 & P(OCH3)3 有人知道這種材料哪家廠商有賣嗎? 或者是告訴小弟 還有哪些含硼 or 磷的氣體 可以用熱分解(1000度以下) 沉積在薄膜上呢?? 謝謝各位 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.118.224.17
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