Re: [問題] 請問半導體廠用的VOCs
※ 引述《comit (連續四次)》之銘言：
: 你猜對了 可是我對這些製程不太了解
: 我是想知道 有用到哪一些 有機揮發物
: 譬如說半導體廠,或是電路板 應該都會用到吧
: 請問會用到啥勒 @@"
一般半導體製程，會用到若干有機溶劑的地方有下：
1.清洗substrate。主要有甲醇、乙醇、丙酮、異丙醇四種，可能交
替使用，例如常見丙酮、異丙醇各rinse三次等等，因為極性不同
清洗作用也不同。
2.顯影劑。依據不同光阻各有專一用的顯影劑，分別由複雜的有機
溶劑組成。
3.光阻沖洗劑。不同的光阻也會需要不同的清洗劑，但大部分常用
的光阻皆可以丙酮洗乾淨，因此丙酮為最普遍的光阻沖洗劑。
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推
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