[閒聊] EUV光刻取得突破 清華大學開發新型光阻

看板Marginalman作者 (斯巴拉西)時間4月前 (2025/07/27 10:21), 編輯推噓1(1推 0噓 0→)
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https://udn.com/news/story/7331/8897788 北京清華大學宣布，該校化學系許華平教授團隊在EUV（極紫外光）光刻材料上取得重大突 破，開發出一種基於聚碲氧烷（Polytelluoxane, PTeO）的新型光阻劑，為先進半導體製造 關鍵材料提供新的設計策略。相關研究成果已於16日發表於期刊《科學前緣》（Science Ad vances）。 光阻劑好像都買日本的 -- https://i.imgur.com/xrVFo3Q.png
把煙吸到肺裡，而黑色的肺就是自己的「業障」。 - 最遊記 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 101.10.158.106 (臺灣) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Marginalman/M.1753582884.A.7DA.html
推
07/27 10:47, 4月前 , 1F
北京清华大学是真的顶
07/27 10:47, 1F
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