[問卦] 晶圓是怎麼對準光罩的

看板Gossiping作者 ((((>(￣▽￣)<))))時間1周前 (2024/04/22 22:35), 1周前編輯推噓9(12推 3噓 13→)
留言28則, 20人參與, 1周前最新討論串1/1
晶圓在曝光的時候要對準光罩 曝光好幾次就要對準好幾次 要是沒對準不就廢了 我看要對準至少精度要到奈米等級吧 怎麼對準的啊 機器手臂或移動的裝置可以精確到奈米等級嗎？ 也太厲害了吧 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 36.226.64.252 (臺灣) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Gossiping/M.1713796534.A.612.html
推
04/22 22:35, 1周前 , 1F
小精靈
04/22 22:35, 1F
推
04/22 22:35, 1周前 , 2F
用五樓的奈米屌
04/22 22:35, 2F
※ 編輯: ttucse (36.226.64.252 臺灣), 04/22/2024 22:36:54
噓
04/22 22:36, 1周前 , 3F
都幾年了現在才知道？
04/22 22:36, 3F
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04/22 22:37, 1周前 , 4F
有好幾個對位mark
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推
04/22 22:37, 1周前 , 5F
小精靈
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推
04/22 22:37, 1周前 , 6F
對岸都用美工刀刻出三奈米 你還在用火
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推
04/22 22:37, 1周前 , 7F
自己的功課自己做
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推
04/22 22:39, 1周前 , 8F
拿鑷子喬角度吧
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噓
04/22 22:39, 1周前 , 9F
有Lmark和檢測站看有沒有overlay
04/22 22:39, 9F
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04/22 22:40, 1周前 , 10F
去買幾支尺 你也可以對的很準
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用戰略級的雷射定位基板定位beam
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align mark和BIB overlay...
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這種基板如果要進台灣必須先有美國老爸
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推
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去問優志旺
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同意，要換的申請很麻煩
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曝光機是會曝alignment mark的 曝
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光前還有一大堆參數輸入 大可不必
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擔心 就算沒對準是可以rework的
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噓
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對位標記...
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推
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樓上的你說的只是靜態定位，畫片中還需
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04/22 22:44, 1周前 , 21F
要動態補償定位
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04/22 22:46, 1周前 , 22F
動感光波 啊哭胸畢姆
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推
04/22 22:47, 1周前 , 23F
以shot數來說一片光罩以數億筆資料計
04/22 22:47, 23F
推
04/22 22:48, 1周前 , 24F
key
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推
04/22 22:53, 1周前 , 25F
你去當產線三寶中的籤王製程就知道了
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補正是同時進行的啦 一台這麼貴也不是賣假
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04/22 23:08, 1周前 , 27F
文具店就有賣了..加上WD40 好用
04/22 23:08, 27F
推
04/23 00:37, 1周前 , 28F
靠各種mark和sensor量測來定位的
04/23 00:37, 28F
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